ULVAC
Think Beyond Vacuum
解决方案(10)
SIC功率器件
MEMS PZT
GAN HEMT
BAW
SAW
IR sensor
WLP
μLED
VCSEL
光通信
云课堂
云课堂Webinar
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BAW器件制造工艺
BAW 器件是一种滤波器,它利用压电体的振动来提取特定频段中的电信号
面向BAW器件的成膜/加工技术
介绍制造BAW器件所需的压电薄膜加工技术和用于电极形成的ULVAC技术。
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