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Think Beyond Vacuum

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压电MEMS的制造工艺

压电材料的使用能够为MEMS的小型化、高性能化做出贡献

面向压电MEMS的PZT溅射工艺

搭载多腔室，可以实现PZT full stack（上下电极+PZT）一致成膜

面向压电MEMS的PZT薄膜刻蚀工艺

提供与作为下部电极的Pt具有高选择性的Pt/PZT刻蚀工艺