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TC-SAW器件制造工艺

SAW器件是一种滤波器，其结构是通过在衬底上形成的压电材料薄膜或规则的梳状电极激发表面声波。

面向SAW器件的成膜/加工技术

介绍制造SAW器件所需的压电薄膜加工技术和用于电极形成的ULVAC技术。