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Think Beyond Vacuum
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BAW器件制造工艺
BAW 器件是一种滤波器，它利用压电体的振动来提取特定频段中的电信号。
BAW器件的工艺流程
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1. 下部电极膜 |
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2. 下部电极加工 |
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3. 压电薄膜形成面向(Sc)AlN的成膜提供溅射设备 |
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4. 压电薄膜加工提供蚀刻技术，最大限度地减少底层电极的挖掘量 |
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5. 上部电极膜 |
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6. 上部电极膜加工 |
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7. 绝缘膜形成 |
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8. 绝缘膜加工 |
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9. 背面Via加工Notch free的背面Via加工 |
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10. Contact电极形成通过Lift off蒸镀，实现高量产性 |
