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Think Beyond Vacuum

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沟槽构造功率器件制造工艺

介绍在功率器件的制造工艺中所需要的技术

面向SiC功率器件的离子注入工艺介绍

提供高能量注入、高温和低温的分步注入工艺

SiC沟槽刻蚀

沟槽结构可实现功率器件的小型化和低电阻

GaN沟槽刻蚀

沟槽结构可实现功率器件的小型化和低电阻