ULVAC

Think Beyond Vacuum

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Vox(IR sensor)制造工艺

红外传感器是实现黑暗夜间可视化的重要传感器,可感知物体的热量,即使在黑暗的夜里也能可视化障碍物(如有热源的动物)。

虽然有使用非晶硅(Amorphous Silicon,a-Si)的技术,但近年来,为了实现高性能化,新材料氧化钒(Vanadium Oxide, VOx)受到瞩目。VOx的电阻随热度而变化,电阻变化越大,线性度越高,因此与使用传统非晶硅的红外传感器相比,有望降低噪声。

IR sensor的工艺流程

 

 

1. SiN膜成膜(PECVD)

 

 

2. Vox膜成膜(成膜)

提供确保稳定电阻值的溅射技术

面向Vox(IR sensor)的成膜/加工技术

 

 

3. SiN膜成膜(PECVD)

 

 

4. Vox刻蚀(RIE)

 

 

5. SiN刻蚀(RIE)

 

 

6. Al成膜(溅射、蒸镀)

 

 

7. SiN成膜(PECVD)

 

 

8. 分离(RIE)

 

 

9. 隔膜结构形成(Ashing)

面向Vox(IR sensor)的成膜/加工技术