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VCSEL制造工艺

作为自动驾驶所需的LiDAR等3D传感技术的光源，半导体激光器的市场变得活跃起来。其中之一是具有小型化、节能等优点的VCSEL（Vertical Cavity Surface Emitting Laser），下面介绍面向VCSEL的干法工艺。

VCSEL加工技术

介绍VCSEL工艺所需的干法蚀刻技术。

光波导的工艺流程

光波导是引导光波在其中传播的介质装置，石英类光波导的制作以石英类玻璃膜的沉积技术和刻蚀微细加工技术为基本。

光波导加工技术

介绍光波导工艺中必要的干法刻蚀技术。