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光波导的工艺流程

光波导是引导光波在其中传播的介质装置，石英类光波导的制作以石英类玻璃膜的沉积技术和刻蚀微细加工技术为基本。

光波导的工艺流程

1. Core&Bottom Clad的形成

形成Clad层和Core层。

2. Mask形成

为了将外延层做成被称为 Mesa 的圆柱形，制作一个掩模图案。

3. 光刻工艺

4. Mask加工

刻蚀加工Hard mask（Cr,Ni)

光波导加工技术介绍

5. PR剥离

6. Core加工

用Hard mask刻蚀Core层。

光波导加工技术介绍

7. Hard mask剥离

8. Above clad形成

9. 电极形成

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